如今，这家企业已手握224项专利，向国内龙头批量交付可支撑14纳米先进制程的等离子体射频电源系统，成为半导体设备关键零部件国产化的“隐形冠军”。

等离子体 宝安 阻抗匹配 恒运 csl 2025-08-25 10:53  2